四氟化碳的性质介绍

　　四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等地方。但是很多用户不知道四氟化碳的性质是什么，今天小编就来详细的为大家介绍一下：
　　CF4在常温常压下是一种无色、无味、易于压缩的气体，它不溶于水，其物理性质如下：熔点-183.6℃，沸点-128.1℃，液体密度（-130℃）1.613g/cm3，液体折光率（-173℃）1.515，固体转变点76.2K，临界温度-45.67℃，临界压力3.74MPa，临界密度7.1dm3/mol，标准摩尔生成焓-932.31kJ/mol，标准摩尔生成熵261.04J/mol?K，标准摩尔自由能-929.84kJ/mol，标准摩尔生成自由能-887.41kJ/mol。
　　CF4具有高的稳定性，属于完全不燃性气体，常温下不与酸、碱及氧化剂反应，900℃以下不与Cu、Ni、W、Mo等过渡金属反应，1000℃不与碳、氢及CH4反应。室温下可与液氨-金属钠试剂反应，高温下CF4可与碱金属、碱土金属及SiO2反应，生成相应的氟化物。CF4在800℃下开始分解，CF4在电弧作用下可与CO和CO2反应生成COF2，有人还试图在碳弧温度中使CF4聚合来合成其他碳氟化合物。
　　由于C-F键的化学稳定性极强，因此以CF4为代表的全氟烃可认为是无毒的。CF4、C2F6和C3F8的全球变暖势（GWP）的下限值分别为620、190和53，呈明显下降趋势，且远小于氯氟烃（CFC）、SF6和CO2。
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