组分名称及浓度范围

平衡气

CO2 5-10%

N2

CO2 5ppm　O2 10-20%

N2

CO 0.3%　C2H2 0.3%　CH4 0.3%　O2 20.9%

N2

CO 0.2-0.3%　He 10%　O2 20%

N2

F2 0.1-0.25%　Ar 3-5%

Ne

F2 0.1-0.2%　Ar 1-3%　He 2-3%

Ne

F2 0.2-0.3%　Ar 3-5% 9-11%　He 20-30%

Ne

Ar 5-8%　He 2-4%

Ne